XPS
La espectroscopía de fotoelectrones emitidos por rayos X es una técnica empleada para medir la composición de los materiales. Para ello, el material es irradiado con una fuente de rayos X y se analiza las energías cinéticas de los electrones resultantes. El sistema también dispone de una fuente ultra violeta que permite llevar a cabo el análisis de fotones de baja energía (UPS).
Además de lo descrito anteriormente, el XPS está equipado con diversos accesorios: un cañón de Ar+ que se emplea para la limpieza de la superficie de las muestras, y un cañón de electrones que proporciona electrones con energía cinética entre 0 y 5000 eV. La emisión secundaria de electrones y la espectroscopía son la finalidad del cañón de electrones.